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采用微加工技術制造了可與集成電路工藝后端集成的嵌入式螺管型電感和互感器件。實現的器件具有懸空結構,大大抑制了襯底損耗。同時,器件結構嵌入硅襯底表面,與標準集成電路封裝兼容。測試表明電感器件達到高的品質因數和自諧振頻率,互感器件實現很寬頻率范圍內的高有效增益。力學性能分析和測試表明器件具有良好的抗沖擊能力和熱穩(wěn)定性。所實現的電感和互感適合高性能射頻集成電路(Radio-frequency integrated circuits,RFIC)的應用。
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