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電容傳感器微電容測(cè)量電路的分析與研究 祝 敏 (湖南永州職業(yè)技術(shù)學(xué)院 電子系 , 湖南 永州 425100) 摘 要 :電容式傳感器微電容檢測(cè)電路的選用與設(shè)計(jì)一直是研究的難點(diǎn)問題之一 。文章介紹了基于電荷轉(zhuǎn)移原理 和基于振蕩電路的兩種測(cè)量方法 。分析了兩種測(cè)量電路的組成及工作原理 。電路消除了寄生電容和電子開關(guān)的 電荷注入效應(yīng)等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響 ,系統(tǒng)采用直流恒壓源作激勵(lì)信號(hào) ,不需要濾波 ,可以提高采樣速度 ,采用 差動(dòng)輸出 ,進(jìn)一步提高了電路抗干擾能力 ,這對(duì)研究電容式傳感器的電容量及其電容的變化量的測(cè)量有一定的現(xiàn) 實(shí)意義 。 關(guān)鍵詞 :電容式傳感器 ; 電容測(cè)量 ; 電荷轉(zhuǎn)移 ; 電容 - 頻率轉(zhuǎn)換 中圖分類號(hào) :TP21 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼 :A 文章編號(hào) :1008 - 8725(2010) 03 - 0056 - 04 Analysis and Research