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本文采用直流磁控濺射方法,對(duì)氧化不銹鋼膜、金屬Ti膜、TiN膜和TiOxNy膜在不同工藝和不同組合條件下形成的兩層膜系熱反射鍍膜玻璃的光學(xué)性能及有關(guān)組份進(jìn)行了測(cè)試分析,闡明了該種方法及該種系列工藝條件下鍍制熱反射玻璃鍍膜的性質(zhì),提出了此工藝條件鍍制兩層膜系熱反射玻璃鍍膜的最佳組合工藝。對(duì)有關(guān)工業(yè)生產(chǎn)中實(shí)施工藝技術(shù)所存在的問(wèn)題進(jìn)行了探討
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