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對電容成像交流法微電容測量電路由雜散電容導(dǎo)致的測量噪聲進行了研究。利用運算放大器的噪聲模型,對運算放大器輸入電壓噪聲、輸入電流噪聲以及周邊電阻元件的熱噪聲通過雜散電容作用于交流法微電容測量電路輸出的影響進行了理論分析,給出了測量電路輸出中噪聲峰峰值的理論計算公式并進行了實驗驗證。理論分析及實驗結(jié)果表明:交流法微電容測量電路前級運算放大器輸入電壓噪聲通過測量端與地之間的雜散電容形成的噪聲是該微電容測量電路輸出噪聲的主要來源。最后給出了電容成像系統(tǒng)前級運算放大器選型的指導(dǎo)原則。
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