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當(dāng)硅晶片(wafer)拋光機的產(chǎn)能大于貼片機產(chǎn)能時,如何提高貼片機的產(chǎn)能,使拋光機與貼片機兩者的產(chǎn)能達到平衡,是研究的方向。通過對貼片機的觀察、了解、測量等相關(guān)工作,確認只有提升貼片機貼片部分的速度,才能提升貼片機的產(chǎn)能。貼片機的貼片部分,只有提高硅片上升/下降電機的速度,才能提升貼片部分的速度。為此更換脈沖發(fā)生器、上升/下降電機及控制器等相關(guān)的部件,并且編寫相關(guān)PLC控制程序,從而提高硅片升/降電機的速度。達到了拋光機產(chǎn)能與貼片機產(chǎn)能相匹配的預(yù)期目的:增加貼片機的產(chǎn)能51 840片/a。
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