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中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所3號(hào)凈化實(shí)驗(yàn)樓采用防靜電環(huán)氧自流平地面,該地面具有持久的防靜電效力。施工中制定了包括基層處理,底涂層、中涂層、面涂層的施工和養(yǎng)護(hù)方法在內(nèi)的施工工法,工法內(nèi)還包括各項(xiàng)質(zhì)量安全等保證措施。
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