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微小流量氣體的質(zhì)量流量控制是亞硝胺化學(xué)發(fā)光檢測的重要組成部分,氣體流量的控制精度對檢測結(jié)果有重要影響。文中根據(jù)反饋控制的原理,采用微型電磁比例閥、流量傳感器、數(shù)字控制電路和PID算法搭建了一套適用于微小流量場合的氣體流量控制裝置。設(shè)計(jì)了比例閥的驅(qū)動電路,傳感器的信號調(diào)理電路,微控制器電路,針對被控對象的特性對控制算法進(jìn)行了優(yōu)化。測試結(jié)果顯示,流量控制的精度優(yōu)于±0.05ml/min(標(biāo)準(zhǔn)狀況下),調(diào)節(jié)時(shí)間小于2s,基本無超調(diào)。且由于采用反饋控制,具有較好的抗干擾性能。該裝置使用方便,成本低,具有一定的實(shí)用價(jià)值。
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