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空氣潔凈度等級 空氣中懸浮粒子潔凈度以等級序數(shù) N 命名。每一被考慮的粒徑 D 的最大允許粒: Cn =10N×(0.1/D)2.08 式中Cn—被考慮粒徑的空氣懸浮粒子最大允許濃度 (pc/m3·空氣 )。Cn 是以四舍五 入至相近的整數(shù),通常有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 N—ISO 等級級別,數(shù)字不超過 9, ISO 等級級別 N 之間的中間數(shù)可以按 0.1 D—被考慮的粒徑 (μm)。 0.1—常數(shù),其量綱為 μm。 表1 列出的空氣中懸浮粒子潔凈度等級及其相應(yīng)的大于或等于被考慮的粒徑的 粒子濃度。在有爭議的情形下,從公式 (1) 得出的濃度 Cn 可作為標(biāo)準(zhǔn)值。 潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級 ISO等級序數(shù) (N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3—空氣濃度限值按公式 (1) 計算 ) 0.1μm 0.2μm 0.3
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空氣潔凈度等級 空氣中懸浮粒子潔凈度以等級序數(shù) N 命名。每一被考慮的粒徑 D 的最大允許粒: Cn =10N×(0.1/D)2.08 式中Cn—被考慮粒徑的空氣懸浮粒子最大允許濃度 (pc/m3·空氣 )。Cn 是以四舍五 入至相近的整數(shù),通常有效位數(shù)不超過三位數(shù)。 N—ISO 等級級別,數(shù)字不超過 9, ISO 等級級別 N 之間的中間數(shù)可以按 0.1 D—被考慮的粒徑 (μm)。 0.1—常數(shù),其量綱為 μm。 表1 列出的空氣中懸浮粒子潔凈度等級及其相應(yīng)的大于或等于被考慮的粒徑的 粒子濃度。在有爭議的情形下,從公式 (1) 得出的濃度 Cn 可作為標(biāo)準(zhǔn)值。 潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級 ISO等級序數(shù) (N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3—空氣濃度限值按公式 (1) 計算 ) 0.1μm 0.2μm 0.3
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