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基于光纖陀螺的小型化和工程化設(shè)計(jì)要求,提出模塊化設(shè)計(jì)概念。設(shè)計(jì)了一種Y型SOI波導(dǎo)耦合器,用于光纖陀螺光收發(fā)模塊。此結(jié)構(gòu)具有形式簡單、譜寬、加工工藝成熟和易于實(shí)現(xiàn)光電集成等技術(shù)優(yōu)勢。理論上分析了波導(dǎo)結(jié)構(gòu)參數(shù)對其特征參數(shù)(分光比、損耗)的影響,優(yōu)化參數(shù)設(shè)計(jì),通過模場匹配理論減小器件損耗。最后,對波導(dǎo)耦合器加工工藝進(jìn)行了討論,采用電子束光刻技術(shù)加工出波導(dǎo)掩膜版,并對加工工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:所設(shè)計(jì)的分光比50%:50%波導(dǎo)耦合器,當(dāng)波導(dǎo)長為25mm時(shí),輸入輸出波導(dǎo)的間距可以達(dá)到300μm,且理論彎曲損耗可忽略不計(jì),可以有效的抑制光源與耦合器的串音干擾。通過優(yōu)化工藝參數(shù),設(shè)計(jì)的SOI波導(dǎo)耦合器可以滿足設(shè)計(jì)要求。
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