格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">483KB
頁(yè)數(shù)： 3頁(yè)
研究應(yīng)用O2反應(yīng)離子刻蝕(RIE)直接深刻蝕商用有機(jī)玻璃(PMMA)片,以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的三維微加工,工藝簡(jiǎn)單,加工成本較低,為微器件的高深寬比加工提出了新方法。試樣采用Ni作掩膜,以普通的光刻膠曝光技術(shù)和濕法刻蝕法將Ni掩膜圖形化。工作氣壓、刻蝕功率等工藝參數(shù)對(duì)刻蝕速率影響較大。在刻蝕過(guò)程中,掩膜上的金屬粒子會(huì)被刻蝕氣體離子轟擊而濺射散落出來(lái),形成微掩膜效應(yīng)。利用這種RIE技術(shù),在適當(dāng)?shù)臑R射功率及氣壓下,刻蝕速率較快,且獲得了較陡直的微結(jié)構(gòu)圖形,刻蝕深度達(dá)120μm。
格式：pdf
大小：453KB
頁(yè)數(shù)： 5頁(yè)
本文利用透射電子顯微鏡和原子力顯微鏡研究了金屬玻璃樣品在離子束作用后形成的厚度起伏特征。采用高分辨透射電鏡和能譜分析結(jié)果表明金屬玻璃樣品中沒(méi)有發(fā)生明顯的結(jié)構(gòu)和成分的變化。利用離子束與樣品表面作用過(guò)程的粗化機(jī)理解釋了出現(xiàn)這種特征厚度起伏的原因。這種厚度起伏是由材料本身性質(zhì)和實(shí)驗(yàn)條件共同決定的。通過(guò)研究離子束與樣品的作用方式,有利于確定合適的透射電鏡樣品制備方法,有助于利用透射電鏡研究非晶樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
熱門(mén)知識(shí)
ito玻璃如何刻蝕-
-
話題： 地產(chǎn)家居葉向真
-
-
話題： 建筑設(shè)計(jì)dfafaf
-
話題： 地產(chǎn)家居huier0204
精華知識(shí)
ito玻璃如何刻蝕-
-
話題： 工程造價(jià)nchuangwei
-
話題： 地產(chǎn)家居fof747
-
話題： 工程造價(jià)151****9627
-
最新知識(shí)
ito玻璃如何刻蝕相關(guān)問(wèn)答
ito玻璃如何刻蝕-
-
話題： 地產(chǎn)家居1973wang
-
話題： 地產(chǎn)家居mackey
-
專題概述
ito玻璃如何刻蝕知識(shí)來(lái)自于造價(jià)通云知平臺(tái)上百萬(wàn)用戶的經(jīng)驗(yàn)與心得交流。 注冊(cè)登錄 造價(jià)通即可以了解到相關(guān)ito玻璃如何刻蝕最新的精華知識(shí)、熱門(mén)知識(shí)、相關(guān)問(wèn)答、行業(yè)資訊及精品資料下載。同時(shí)，造價(jià)通還為您提供材價(jià)查詢、測(cè)算、詢價(jià)、云造價(jià)等建設(shè)行業(yè)領(lǐng)域優(yōu)質(zhì)服務(wù)。手機(jī)版訪問(wèn)：ito玻璃如何刻蝕
相關(guān)話題
資料下載
相關(guān)資訊
ito玻璃如何刻蝕相關(guān)專題
- 卡箍的量是怎么算出來(lái)的
- 卡箍工程量問(wèn)題
- 卡箍件的計(jì)算問(wèn)題
- 卡箍如何計(jì)算
- 卡箍與法蘭有何區(qū)別
- 卡簧尺寸怎么量
- 卡普隆雨棚做什么檢驗(yàn)批
- 卡套接頭的選用標(biāo)準(zhǔn)
- 卡箍連接管道
- 卡簧鉗的型號(hào)是多少
- 中國(guó)吹制玻璃行業(yè)市場(chǎng)前景分析預(yù)測(cè)年度報(bào)告(目錄)
- 政府投資項(xiàng)目如何做好智能化系統(tǒng)工程建設(shè)的過(guò)程控制
- 中玻新材擬建10條800萬(wàn)m~2Low-E玻璃線
- 中華人民共和國(guó)水產(chǎn)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)玻璃鋼漁船建造質(zhì)量要求
- 在小橋涵軟基處理中如何運(yùn)用預(yù)應(yīng)力混凝土管樁的分析
- 在樓宇自控系統(tǒng)設(shè)計(jì)中如何選擇最佳的電動(dòng)調(diào)節(jié)閥口徑
- 在水利水電工程中如何解決UTM投影變形問(wèn)題
- 云母/氟磷灰石生物玻璃陶瓷的體內(nèi)外生物學(xué)性能
- 在房地產(chǎn)開(kāi)發(fā)中如何運(yùn)用法律防范可能發(fā)生的違約行為
- 增韌雙馬來(lái)酰亞胺樹(shù)脂及其玻璃布層壓板的制備與性能
- 義龍麗景都市公寓門(mén)窗玻璃安裝分項(xiàng)工程監(jiān)理實(shí)施細(xì)則
- 中國(guó)光電玻璃行業(yè)市場(chǎng)前景分析預(yù)測(cè)年度報(bào)告(目錄)
- 能跨越水平窗框障礙的玻璃幕墻清洗機(jī)器人的設(shè)計(jì)
- 中國(guó)工藝美術(shù)學(xué)會(huì)玻璃藝術(shù)專業(yè)委員會(huì)理事會(huì)
- 中國(guó)建筑材料科學(xué)總院石英玻璃專業(yè)的創(chuàng)建與發(fā)展
- 中國(guó)建材工程總承包國(guó)內(nèi)噸位最大浮法玻璃生產(chǎn)線投產(chǎn)
- 印發(fā)關(guān)于促進(jìn)平板玻璃工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的若干意見(jiàn)的通知
- ito蝕刻納米銀線
- ito鍍膜玻璃廠家
- ito鍍膜生產(chǎn)線
- itsskin晶鉆蝸牛霜
- ITS高清智能一體化攝像機(jī)
- itt柴油泵
- itt水泵配件
- itt污水提升設(shè)備
- itt潛污泵
- itt離心水泵配件
- itt空調(diào)水泵
- itt飛力潛污泵
- itt高質(zhì)泵
- itunesstore是什么
- ITW進(jìn)口固定螺釘
- it產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃方案
- it產(chǎn)業(yè)園景觀規(guī)劃
- it企業(yè)辦公室室內(nèi)裝修
- it公司辦公室布局設(shè)計(jì)
- it公司辦公室裝修
- it辦公室裝修效果圖
- IT辦公空間裝飾圖
- it咨詢工程師
- it展廳設(shè)計(jì)
- it工期保障措施
- it接地系統(tǒng)
- it接地系統(tǒng)it接地系統(tǒng)
- it接地系統(tǒng)圖
- IT監(jiān)理
- it監(jiān)理工程師