位移傳感器
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新型密封式精密鋼帶光柵線位移傳感器的研制
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研制了一種新型的密封式超長精密鋼帶光柵線位移傳感器.該傳感器采用了反射式精密超長計量鋼帶光柵尺作為測量基準(zhǔn)尺,實現(xiàn)了大量程,并且依據(jù)激光光電掃描器拾取光柵莫爾條紋光電信號,提高了光柵付工作間隙量和測量的精度.實驗的結(jié)果表明:傳感器量程為3m,10m,50m時,其測量精度可以達到±5μm/m,±10μm/m,±20μm/m.
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