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本文通過高真空氣動擋板閥的數(shù)據(jù)分析來說明漏率和升壓率在高真空范圍內(nèi)二者之間的差異。
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一、本次新產(chǎn)品——〈超高真空蝶閥〉產(chǎn)生的背景 高真空蝶閥隨著真空技術(shù)的運用而誕生，經(jīng)過人們在運用當(dāng)中不斷的改進和歷史的檢驗至今廣泛地應(yīng)用于真空領(lǐng)域，但是人們發(fā)現(xiàn)這種蝶閥還是存在不盡人意的地方，它主要表現(xiàn)在以下幾個方面：
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