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設計和制作了一種雙軸微磁通門傳感器。這種微型傳感器為螺線管型,磁芯設計為矩形環(huán)狀閉合結構,磁芯每條邊上均繞有激勵線圈和檢測線圈,保證傳感器能夠同時檢測X軸和Y軸兩個方向上的弱磁場。采用了MEMS技術制作微型傳感器,其中磁芯用電鍍的方法獲得,材料為N i0.8Fe0.2坡莫合金,厚度5μm。制作出的微型傳感器的尺寸為7×7mm2,單元內部最小線寬為50μm。檢測了線圈的電氣導通性,測得電阻值為110歐姆。該微型傳感器能夠檢測弱磁場,因此可用于航天、醫(yī)學和軍事等領域。
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