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微小流量氣體的質量流量控制是亞硝胺化學發(fā)光檢測的重要組成部分,氣體流量的控制精度對檢測結果有重要影響。文中根據(jù)反饋控制的原理,采用微型電磁比例閥、流量傳感器、數(shù)字控制電路和PID算法搭建了一套適用于微小流量場合的氣體流量控制裝置。設計了比例閥的驅動電路,傳感器的信號調理電路,微控制器電路,針對被控對象的特性對控制算法進行了優(yōu)化。測試結果顯示,流量控制的精度優(yōu)于±0.05ml/min(標準狀況下),調節(jié)時間小于2s,基本無超調。且由于采用反饋控制,具有較好的抗干擾性能。該裝置使用方便,成本低,具有一定的實用價值。