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介紹了一種新型氣體吸附測量裝置.該裝置利用壓差法測量,采用美國MKS高精度壓差傳感器來提高測量精度,通過微調(diào)泄漏閥控制極小進氣量,并且采用間斷法與連續(xù)法相結(jié)合.實驗證明,該裝置具有很好的可重復(fù)性,能獲得高分辨率及超低壓吸附等溫線.
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介紹了一種新型氣體吸附測量裝置.該裝置利用壓差法測量,采用美國MKS高精度壓差傳感器來提高測量精度,通過微調(diào)泄漏閥控制極小進氣量,并且采用間斷法與連續(xù)法相結(jié)合.實驗證明,該裝置具有很好的可重復(fù)性,能獲得高分辨率及超低壓吸附等溫線.
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