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聲表面波工藝原理 第一章 清洗工藝原理 Page 1 of 5 一,聲表器件清洗工藝原理 序: 聲表器件制作工藝中的清洗技術(shù)及潔凈度是影響器件合格率、 器件性能和可靠性的重要因 素。雜質(zhì)污染主要來(lái)源于晶片加工過(guò)程、環(huán)境污染、水(包括純水)污染、試劑污染、工藝 氣體污染、生產(chǎn)用設(shè)備、器皿、工具及易耗品污染、人體污染和工藝過(guò)程造成的污染。由于 表面污染是通過(guò)污染物與表面間的作用力引起(主要是化學(xué)力和分子間力) ,清洗就是為破 壞這種作用力,除去由上述污染源所帶來(lái)的有機(jī)物、微粒、金屬原子(離子)及微粗糙。 (一)對(duì)基片表面的清洗: 由于有機(jī)物會(huì)遮蓋部分基片表面,影響對(duì)微粒和金屬的清洗,所以清洗的一般思路是: 先除去表面的有機(jī)污染,然后再去除微粒和金屬雜質(zhì)。 1,對(duì)有機(jī)物的清洗: 基片上的有機(jī)污染主要有油膜、 殘余的蠟?zāi)つz膜、 不純有機(jī)溶劑揮發(fā)后的殘膜, 以及微生 物的有機(jī)殘?jiān)?手油等。 這些雜
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mbr 工藝原理及優(yōu)缺點(diǎn) MBR 工藝簡(jiǎn)介 MBR 工藝體現(xiàn)的是“治理、回用” 的節(jié)水理念。 MBR 膜生物 反應(yīng)器( Membrane Bioreactor)工藝是傳統(tǒng)的生物處理工藝和膜分離技術(shù)相結(jié)合發(fā)展起來(lái) 的。MBR 工藝由生物處理和膜處理兩部分組成。 生物處理部分包括缺氧池、好氧池;膜處理部分包括膜池。 MBR 膜分離技術(shù)采用超濾法, 取代傳統(tǒng)生物處理沉淀池,固液分離效果好,為解決回用水質(zhì)問(wèn)題提供了可靠保證。 MBR 工藝的工作原理首先通過(guò)活性污泥來(lái)去除水中可生物降解的有機(jī)污染物,然后采用 膜將凈化后的水和活性污泥進(jìn)行固液分離。 中空纖維膜絲為管狀,管壁上有微孔,能夠截留住活性污泥以及絕大多數(shù)的懸浮物,出水 清澈透明。為使膜能夠長(zhǎng)期連續(xù)穩(wěn)定的運(yùn)行,在膜的下方要進(jìn)行一定量的曝氣,這樣,既 滿足生物需氧量,又使膜絲不斷抖動(dòng),防止活性污泥附著在膜的表面造成污染。 MBR 工藝的分類膜生物
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