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針對液壓閥閥芯位移檢測問題,提出了一種基于線性霍爾元件的液壓閥閥芯位移傳感器結(jié)構(gòu)。介紹了新型耐高壓霍爾傳感器的結(jié)構(gòu)組成和工作原理;建立了傳感器磁場有限元仿真模型,仿真分析了磁感應(yīng)強度與閥芯位置之間的關(guān)系;最后研制了新型耐高壓位移傳感器,并進行了實驗研究,結(jié)果表明:在2 mm范圍內(nèi)傳感器的線性度為1%,可用于比例閥芯位移檢測。
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