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采用直流磁控反濺射法在不銹鋼真空管道內(nèi)表面均勻鍍上一層TiZrV薄膜。該薄膜經(jīng)過激活后具有抽氣效應(yīng),能夠使真空管道由原來的系統(tǒng)氣載轉(zhuǎn)變成為管道泵。該薄膜激活溫度很低,最低激活溫度為180℃。在經(jīng)過激活后,實(shí)驗(yàn)裝置遠(yuǎn)端的真空度與泵口真空度相同,因此壓力分布呈直線型。
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