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本專利所涉及制造的是一種用于真空壓力測(cè)量與控制的儀器儀表。它是檢測(cè)真空壓力的理想儀表,由于運(yùn)用了電容量變化的原理,采用了可變電容結(jié)構(gòu),成功地制造出了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低、工作特性穩(wěn)定、過(guò)壓能力強(qiáng)、測(cè)量精度和靈敏度高、耐蝕性強(qiáng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的真空壓力測(cè)控儀表——電容式薄膜真空計(jì)。它已廣泛地運(yùn)用于核工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的鈾濃縮、太陽(yáng)能和電子工業(yè)領(lǐng)域的單晶硅和多晶硅的提煉、航天領(lǐng)域、真空冶煉、電光源制造、生物制藥、石油化工以及實(shí)驗(yàn)室等。
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為了提高本科生的知識(shí)結(jié)構(gòu)水平與鍛煉他們的動(dòng)手能力,本文提出了將老式復(fù)合真空計(jì)高真空機(jī)械控制開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)化為電子開(kāi)關(guān)的改裝方案,讓本科生對(duì)老式復(fù)合真空計(jì)的測(cè)試原理具有一定的理解后,通過(guò)對(duì)原理的掌握來(lái)設(shè)計(jì)出對(duì)應(yīng)的電子開(kāi)關(guān)。這樣一方面鍛煉了學(xué)生的動(dòng)手實(shí)踐能力,另一方面可以通過(guò)電子開(kāi)關(guān)對(duì)機(jī)械開(kāi)關(guān)的替代使老式復(fù)合真空計(jì)的使用壽命變長(zhǎng),提高測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度,節(jié)省了購(gòu)置新真空計(jì)的費(fèi)用。
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