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超光滑拋光玻璃表面粗糙度為納米量級,超精密拋光加工精度達(dá)到分子級或原子級。超光滑和超精密拋光新技術(shù)包括數(shù)控小工具拋光、應(yīng)力盤拋光、浴法拋光、磁流變拋光、離子束拋光、電子束拋光、激光拋光和等離子輔助拋光等。本文重點闡述采用20KeV、1×1014. ions/cm2和1×1016. ions/cm2的N+離子對鈉鈣硅酸鹽和鉛玻璃進(jìn)行離子束拋光的原理與工藝,拋光后粗糙度僅為幾十納米。采用高束流脈沖電子束拋光時,當(dāng)束流超過1012 W/cm2時,玻璃表面Griffith裂紋擴(kuò)張,粗糙度反而增加,必須嚴(yán)格控制拋光時電子束能量。
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