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分析了在正、負(fù)壓潔凈室進(jìn)行潔凈室氣密性驗(yàn)證的重要性,對(duì)潔凈室氣密性相關(guān)問(wèn)題進(jìn)行了理論計(jì)算,給出了具體檢測(cè)方法,并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。結(jié)果表明,一個(gè)密封很好的潔凈室,500Pa壓力的半衰期不足5min,小時(shí)泄漏率不到10。
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